A micro-machined actuator for use in, among other things, sensors and data
storage devices. The actuator includes a stator wafer and a micro-mover
positioned adjacent to the stator wafer. Between the stator wafer and the
micro-mover are electrodes that are set to specified voltages and that
emanate electric fields that position the micro-mover relative to the
stator wafer. Also between stator wafer and the micro-mover are bumpers
that prevent the electrodes from coming into contact with each other.
Micro-machinaal bewerkte actuator voor gebruik in, onder andere, sensoren en gegevensopslaggelegenheden. Actuator omvat een statorwafeltje en een micro-verhuizer die naast het statorwafeltje wordt geplaatst. Tussen de stator zijn het wafeltje en de micro-verhuizer elektroden die aan gespecificeerde voltages worden geplaatst en die elektrische velden afkomstig zijn die de micro-verhuizer met betrekking tot het statorwafeltje plaatsen. Ook tussen stator zijn het wafeltje en de micro-verhuizer bumpers die de elektroden verhinderen in contact met elkaar te komen.
