A micro-machined actuator for use in, among other things, sensors and data
storage devices. The actuator includes a stator wafer and a micro-mover
positioned adjacent to the stator wafer. Between the stator wafer and the
micro-mover are electrodes that are set to specified voltages and that
emanate electric fields that position the micro-mover relative to the
stator wafer. Also between stator wafer and the micro-mover are bumpers
that prevent the electrodes from coming into contact with each other.
Un actuador micro-trabajado a ma'quina para el uso adentro, entre otras cosas, los sensores y los dispositivos de almacenaje de datos. El actuador incluye una oblea del estator y un micro-motor colocados adyacente a la oblea del estator. Entre la oblea del estator y el micro-motor están los electrodos que se fijan a los voltajes especificados y que emanan los campos eléctricos que colocan el micro-motor concerniente a la oblea del estator. También entre la oblea del estator y el micro-motor están los topes que evitan que los electrodos vengan en contacto con uno a.
