Permeable capacitor electrode

   
   

The present teachings describe a container capacitor that utilizes an etchant permeable lower electrode for the formation of single or double-sided capacitors without excessive etching back of the periphery of the use of sacrificial spacers. The present teachings further describe a method of forming at least one capacitor structure on a substrate. For example, the method comprises forming at least one recess in the substrate, depositing a first conductive layer on the substrate so as to overlie the at least one recess, and defining at least one lower electrode within the at least one recess formed in the substrate by removing at least a portion of the first conductive layer. The method further comprises diffusing an etchant through the at least one lower electrode so as to remove at least a portion of the substrate to thereby at least partially isolate the at least one lower electrode. The method still further comprises depositing a dielectric layer on the at least one isolated lower electrode and depositing a second conductive layer on the dielectric layer so as to form an upper electrode.

Οι παρούσες διδασκαλίες περιγράφουν έναν πυκνωτή εμπορευματοκιβωτίων που χρησιμοποιεί ένα etchant διαπερατό χαμηλότερο ηλεκτρόδιο για το σχηματισμό των ενιαίων ή double-sided πυκνωτών χωρίς υπερβολικό πίσω μέρος χαρακτικής της περιφέρειας της χρήσης των θυσιαστικών πλήκτρων διαστήματος. Οι παρούσες διδασκαλίες περιγράφουν περαιτέρω μια μέθοδο τουλάχιστον μια δομή πυκνωτών σε ένα υπόστρωμα. Παραδείγματος χάριν, η μέθοδος περιλαμβάνει τη διαμόρφωση τουλάχιστον μιας κοιλότητας στο υπόστρωμα, την κατάθεση ενός πρώτου αγώγιμου στρώματος στο υπόστρωμα ώστε να επικαλυφθεί η τουλάχιστον μια κοιλότητα, και τον καθορισμό τουλάχιστον ενός χαμηλότερου ηλεκτροδίου μέσα στην τουλάχιστον μια κοιλότητα που διαμορφώνεται στο υπόστρωμα με την αφαίρεση τουλάχιστον μιας μερίδας του πρώτου αγώγιμου στρώματος. Η μέθοδος περιλαμβάνει περαιτέρω τη διάχυση ένας etchant μέσω του τουλάχιστον ενός χαμηλότερου ηλεκτροδίου ώστε να αφαιρεθεί τουλάχιστον μια μερίδα του υποστρώματος με αυτόν τον τρόπο τουλάχιστον μερικώς απομονώνει το τουλάχιστον ένα χαμηλότερο ηλεκτρόδιο. Η μέθοδος περιλαμβάνει επιπλέον την κατάθεση ενός διηλεκτρικού στρώματος στο τουλάχιστον ένα απομονωμένο χαμηλότερο ηλεκτρόδιο και την κατάθεση ενός δεύτερου αγώγιμου στρώματος στο διηλεκτρικό στρώμα ώστε να διαμορφωθεί ένα ανώτερο ηλεκτρόδιο.

 
Web www.patentalert.com

< Mobile monolithic polymer elements for flow control in microfluidic devices

< Particle generator

> Process for preparing modified pigments

> X-ray detector module

~ 00129