A method for fabricating a resonator, and in particular, a thin film bulk
acoustic resonator (FBAR), and a resonator embodying the method are
disclosed. The resonator is fabricated on a substrate by fabricating a
bottom electrode layer and a piezoelectric (PZ) layer over the bottom
electrode layer. A selected portion of the PZ layer is partially etched.
Then, a top electrode is fabricated over the selected portion of the PZ
layer.
Une méthode pour fabriquer un résonateur, et en particulier, un résonateur acoustique en vrac de la couche mince (FBAR), et un résonateur incarnant la méthode sont révélés. Le résonateur est fabriqué sur un substrat en fabriquant une couche d'électrode de sole et une couche (PZ) piézoélectrique au-dessus de la couche d'électrode de sole. Une partie choisie de la couche de PZ est partiellement gravée à l'eau-forte. Puis, une électrode supérieure est excédent fabriqué la partie choisie de la couche de PZ.
