Systems, methods, and computer program products are described for
specifying a scanning area of a substrate. In accordance with one method,
steps include receiving location data corresponding to a plurality of
probe-feature locations on the substrate, storing the location data,
accessing the location data, and scanning the substrate based on the
accessed location data. A scanning system is described that includes a
computer, a scanner, and a computer program product. The product, when
executed on the computer, accesses location data corresponding to a
plurality of probe-feature locations on a substrate, and controls the
scanner's scanning of the substrate based on the accessed location data.
Los sistemas, los métodos, y los productos del programa de computadora se describen para especificar un área de la exploración de un substrato. De acuerdo con un método, los pasos incluyen la recepción de los datos de la localización que corresponden a una pluralidad de localizaciones de la sondar-caracteri'stica en el substrato, almacenando los datos de la localización, teniendo acceso a los datos de la localización, y explorando el substrato basado en los datos alcanzados de la localización. Se describe un sistema de la exploración que incluye una computadora, un explorador, y un producto del programa de computadora. El producto, cuando está ejecutado en la computadora, tiene acceso a los datos de la localización que corresponden a una pluralidad de localizaciones de la sondar-caracteri'stica en un substrato, y controla la exploración del explorador del substrato basado en los datos alcanzados de la localización.
