The semiconductor manufacturing system includes semiconductor production
equipment as the passive equipment and an AMHS as the active equipment.
The semiconductor production equipment control panel includes a circuit
which turns off an ES signal being applied via an optical I/O to the AMHS
in response to an input from an ES button, without stopping the operation
of the semiconductor production equipment. The AMHS includes a circuit
which brings a vehicle and a hand of the AMHS to an emergency stop when
the ES signal received via the optical I/O turns off.
Система производства полупроводника вклюает оборудование продукции полупроводника как пассивное оборудование и AMHS как активно оборудование. Пульт управления оборудования продукции полупроводника вклюает цепь поворачивает сигнал es будучи прикладыванной через оптически I/O к AMHS in response to входной сигнал от кнопки es, без останавливать деятельность оборудования продукции полупроводника. AMHS вклюает цепь приносит корабль и руку AMHS к аварийному стопу когда сигнал es полученный через оптически I/O поворачивает.
