A polygon scanning system and method is provided wherein two or more light
beams impinge at different incident angles on a polygon facet and are
sequentially used for scanning the surface of a substrate as the polygon
is rotated. Embodiments include a system comprising a polygon having a
reflective facet, a rotation mechanism for rotating the polygon, and a
light source for directing a plurality of light beams to impinge on the
facet such that each light beam impinges on the facet at a different
incident angle. Each light beam is reflected by the facet to scan a
particular portion of a surface of a substrate during a respective time
interval when the rotation mechanism is rotating the polygon. Each of the
plurality of light beams is reflected onto the substrate surface using a
respective portion of the facet surface, such that the sum of the
respective portions of the facet surface used to reflect the light beams
is a very large percentage of the total surface area. Thus, the system has
a duty cycle of close to 100 percent as well as a high data rate.
Un système et une méthode de balayage de polygone est fourni où deux faisceaux lumineux ou plus empiètent à différents angles d'incident sur une facette de polygone et est séquentiellement employé pour balayer la surface d'un substrat pendant que le polygone est tourné. Les modes de réalisation incluent un système comportant un polygone ayant une facette r3fléchissante, un mécanisme de rotation pour tourner le polygone, et une source lumineuse pour diriger une pluralité de faisceaux lumineux empiéter sur la facette tels que chaque faisceau lumineux empiète sur la facette à un angle différent d'incident. Chaque faisceau lumineux est reflété par la facette pour balayer une partie particulière d'une surface d'un substrat pendant un intervalle respectif de temps quand le mécanisme de rotation tourne le polygone. Chacune de la pluralité de faisceaux lumineux est reflétée sur la surface de substrat en utilisant une partie respective de la surface de facette, telle que la somme des parties respectives de la surface de facette employée pour refléter les faisceaux lumineux est un pourcentage très grand de toute la superficie. Ainsi, le système a un coefficient d'utilisation de près de 100 pour cent aussi bien qu'un débit élevé.
