A damped micromechanical device comprising a substrate, a movable structure
overlying the substrate and a flexural member having a first end portion
coupled to the substrate and a second end portion coupled to the movable
structure. The movable structure is movable at a resonant frequency
between first and second positions relative to the substrate. A damping
material is adhered to at least a portion of the flexural member for
damping the movement of the movable structure at the resonant frequency. A
method for making the micromechanical device is provided.
Un dispositivo micromechanical humedecido que abarca a un substrato, a una estructura movible que cubre el substrato y a un miembro flexural que tiene una primera parte periférica juntada al substrato y una segunda parte periférica juntada a la estructura movible. La estructura movible es movible en primeras de la frecuencia en medio y segundas posiciones resonantes concerniente al substrato. Un material que humedece se adhiere por lo menos a una porción del miembro flexural para humedecer el movimiento de la estructura movible en la frecuencia resonante. Un método para hacer el dispositivo micromechanical se proporciona.
