A micromachined component such as a transducer having a support structure
with a rigid plate secured to the surface of the support structure by
means of support arms directly interconnecting the rigid plate and the
support structure at discrete locations. A diaphragm of a substantially
non-conductive material is secured to the support structure along its
periphery at a predetermined distance from the rigid plate. The rigid
plate has a surface facing the air gap carrying an electrically conductive
surface portion on that surface, and the diaphragm has a surface facing
the air gap carrying an electrically conductive surface portion on that
surface. For each support arm, at least one of the electrically conductive
surface portions is separated from the support arm at a distance along the
surface carrying the respective electrically conductive surface portion.
This construction ensures a high leakage resistance and a low parasitic
capacitance.
A micromachined o componente tal como um transdutor que tem uma estrutura da sustentação com uma placa rígida fixada à superfície da estrutura da sustentação por meio dos braços de sustentação que interconectam diretamente a placa rígida e da estrutura da sustentação em posições discretas. Um diafragma de um material substancialmente non-conductive é fixado à estrutura da sustentação ao longo de sua periferia em uma distância predeterminada da placa rígida. A placa rígida tem os revestimentos de superfície a abertura de ar que carrega uma parcela de superfície eletricamente condutora nessa superfície, e o diafragma tem os revestimentos de superfície a abertura de ar que carrega uma parcela de superfície eletricamente condutora nessa superfície. Para cada braço de sustentação, ao menos uma das parcelas de superfície eletricamente condutoras é separado do braço de sustentação em uma distância ao longo da superfície que carrega eletricamente a parcela de superfície condutora respectiva. Esta construção assegura uma resistência elevada do escapamento e uma capacidade parasítica baixa.
