The present invention provides an anchor system for securing a MEMS device
to a substrate comprising multiple anchors. A MEMS structure, built in
accordance with the one embodiment of the invention, comprises a flexible
beam suspended over a substrate and a base attached to each end of the
beam. Each base is supported above the substrate by multiple anchors
attached to the surface of the substrate. Each anchor further comprises
anchor legs along its sides that support the base off of the substrate. In
one embodiment, the anchors of each base are located away from the
interface between the beam and the base. In another embodiment, the
lengths of the anchor legs of the anchors are made longer along a
direction of good side-wall step coverage than along a direction of poor
side-wall step coverage.
Присытствыющий вымысел обеспечивает систему анкера для обеспечивать приспособление MEMS к субстрату состоя из множественных анкеров. Структура MEMS, построенная в соответствии с одним воплощением вымысла, состоит из гибкого луча suspended над субстратом и основания прикрепленным к каждому концу луча. Каждое основание поддержано над субстратом множественными анкерами прикрепленными к поверхности субстрата. Каждый анкер более дальнейший состоит из ног анкера вдоль своих сторон поддерживают основание субстрата. В одном воплощении, анкеры каждого основания расположены прочь от поверхности стыка между лучем и основанием. В другом воплощении, длины ног анкера анкеров сделаны более длинней вдоль направления хорошего охвата шага стенки чем вдоль направления плохого охвата шага стенки.
