The present invention contemplates an integrated oscillator-amplifier
system for deep UV generation. The system employs a long cavity oscillator
to lengthen the pulse build-up time and to control the pulse spectral
bandwidth. Meanwhile the system employs a short cavity amplifier to
shorten the energy extraction time to produce a single short pulse with
good energy extraction efficiency. The system further integrates the
oscillator and the amplifier by inserting the amplifier cavity inside the
oscillator cavity via a mirror of low reflectivity. As a result, the
integrated system has a long build-up time to generate a seed pulse in the
long cavity oscillator and has a short energy extraction time to generate
a short amplified single pulse in the short cavity. Consequently, the
integrated system can accommodate a relatively long pump pulse to produce
a single short amplified pulse suitable for deep UV laser generation.
Η παρούσα εφεύρεση συλλογίζεται ένα ενσωματωμένο σύστημα ταλαντωτής-ενισχυτών για τη βαθιά UV παραγωγή. Το σύστημα χρησιμοποιεί έναν μακρύ ταλαντωτή κοιλοτήτων για να μακραίνει το χρόνο συγκέντρωσης σφυγμού και για να ελέγξει το φασματικό εύρος ζώνης σφυγμού. Εν τω μεταξύ το σύστημα χρησιμοποιεί έναν κοντό ενισχυτή κοιλοτήτων για να κονταίνει το χρόνο ενεργειακής εξαγωγής να παραχθεί ένας ενιαίος σύντομος σφυγμός με την καλή αποδοτικότητα ενεργειακής εξαγωγής. Το σύστημα ενσωματώνει περαιτέρω τον ταλαντωτή και τον ενισχυτή με την παρεμβολή της κοιλότητας ενισχυτών μέσα στην κοιλότητα ταλαντωτών μέσω ενός καθρέφτη της χαμηλής ανακλαστικότητας. Κατά συνέπεια, το ενσωματωμένο σύστημα έχει έναν μακροχρόνιο χρόνο συγκέντρωσης να παραγάγει έναν σφυγμό σπόρου στο μακρύ ταλαντωτή κοιλοτήτων και έχει έναν σύντομο χρόνο ενεργειακής εξαγωγής να παραγάγει έναν απότομα ενισχυμένο ενιαίο σφυγμό στην κοντή κοιλότητα. Συνεπώς, το ενσωματωμένο σύστημα μπορεί να προσαρμόσει έναν σχετικά μακροχρόνιο σφυγμό αντλιών για να παραγάγει έναν ενιαίο σύντομο ενισχυμένο σφυγμό κατάλληλο για τη βαθιά UV παραγωγή λέιζερ.
