An integrated apparatus for optically monitoring semiconductor workpieces
includes a supporting assembly for supporting the workpiece, and an
optical monitoring unit positioned opposite the surface of the workpiece
and separated therefrom by an optical window. The optical monitoring unit
is mounted for reciprocating movement within a plane parallel to the
window for monitoring at least one desired parameter of the semiconductor
workpiece and has pattern recognition and auto-focusing utilities. The
optical window includes one or more relatively small window fragments
located at predetermined locations to enable observation of desired,
predetermined portions of the workpiece. The size and shape of the window
fragments are selected according to the requirements of transparency in a
predetermined spectral range, mechanical strength and ability of pattern
recognition and auto-focusing. A method of monitoring semiconductor
workpieces through an optical window including one or more relatively
small window fragments can be practiced with the integrated apparatus.
Un apparecchio integrato per otticamente il controllo dei pezzi in lavorazione a semiconduttore include un complessivo di sostegno per il sostegno del pezzo in lavorazione e un'unità di controllo ottica posizionata di fronte alla superficie del pezzo in lavorazione e separata da ciò da una finestra ottica. L'unità di controllo ottica è montata per scambiarsi il movimento all'interno di un aereo parallelo alla finestra per il controllo almeno dell'uno ha voluto il parametro del pezzo in lavorazione a semiconduttore ed ha il riconoscimento di forme e programmi di utilità difocalizzazione. La finestra ottica include uno o più relativamente piccoli frammenti della finestra situati alle posizioni predeterminate per permettere l'osservazione delle parti volute e predeterminate del pezzo in lavorazione. Il formato e la figura dei frammenti della finestra sono selezionati secondo i requisiti dell'acetato in una gamma spettrale predeterminata, in una resistenza meccanica ed in un'abilità di riconoscimento di forme e di automobile-focalizzazione. Un metodo di controllo dei pezzi in lavorazione a semiconduttore attraverso una finestra ottica compreso uno o più relativamente piccoli frammenti della finestra può esercitarsi in con l'apparecchio integrato.
