A multi-input, multi-output vibration control system for a lithography
system. The system provides an actuator, and a sensor useful for
controlling vibrations in systems for fabricating electronics equipment.
The system includes a processor programmed with a multi-input,
multi-output control technique such as a linear quadratic Gaussian,
H-infinity or mu synthesis. The actuator may comprise one or more plates
or elements of electroactive material bonded to an electroded sheet.
Ένα multi-input, multi-output σύστημα ελέγχου δόνησης για ένα σύστημα λιθογραφίας. Το σύστημα παρέχει έναν ενεργοποιητή, και έναν αισθητήρα χρήσιμο για τις δονήσεις στα συστήματα για τον εξοπλισμό ηλεκτρονικής. Το σύστημα περιλαμβάνει έναν επεξεργαστή που προγραμματίζεται με μια multi-input, multi-output τεχνική ελέγχου όπως γραμμικός τετραγωνικός ένας γκαουσσιανός, το χ-άπειρο ή τη σύνθεση της MU. Ο ενεργοποιητής μπορεί να περιλάβει ένα ή περισσότερα πιάτα ή τα στοιχεία του electroactive υλικού που συνδέθηκαν με το φύλλο.
