Lower electrodes of capacitors composed of a texturizing underlayer and a
conductive material overlayer are provided. The lower electrodes have an
upper roughened surface. In one embodiment, the texturizing layer is
composed of porous or relief nanostructures comprising a polymeric
material, for example, silicon oxycarbide. In another embodiment, the
texturizing underlayer is in the form of surface dislocations composed of
annealed first and second conductive metal layers, and the conductive
metal overlayer is agglomerated onto the surface dislocations as
nanostructures in the form of island clusters.
De lagere elektroden van condensatoren die uit het texturizing underlayer en een geleidend materiaal worden samengesteld worden overlayer verstrekt. De lagere elektroden hebben een hogere geruwde oppervlakte. In één belichaming, is de het texturizing laag samengesteld uit poreuze of hulpnanostructures bestaand uit een polymeer materiaal, bijvoorbeeld, siliciumoxycarbide. In een andere belichaming, is het texturizing underlayer in de vorm van oppervlaktedislocaties die uit eerst onthard worden samengesteld en tweede geleidende metaallagen, en het geleidende metaal wordt overlayer opeengehoopt op de oppervlaktedislocaties aangezien nanostructures in de vorm van eiland zich groepeert.
