A scatterometer system comprises a pitch calibration station that allows
the monitoring of a tool status of the scatterometry system without
involving a user's interaction. The pitch calibration station comprises a
pitch calibration standard, for example in the form of a grid pattern that
may conveniently be evaluated on the basis of a reference data library. By
providing the pitch calibration station, the measurement process may
easily be adapted to include reference measurements on a regular basis so
as to increase the reliability of measurement values obtained by
scatterometry. In one particular example, a corresponding set of
instructions for performing the calibration measurement may be implemented
into a self-test routine of the scatterometry system.
Ένα σύστημα μετρητών διασκορπισμού περιλαμβάνει έναν σταθμό βαθμολόγησης πισσών που επιτρέπει τον έλεγχο μιας θέσης εργαλείων του scatterometry συστήματος χωρίς ανάμειξη της αλληλεπίδρασης ενός χρήστη. Ο σταθμός βαθμολόγησης πισσών περιλαμβάνει πρότυπα βαθμολόγησης πισσών, παραδείγματος χάριν υπό μορφή σχεδίου πλέγματος που μπορεί βολικά να αξιολογηθεί βάσει μιας βιβλιοθήκης στοιχείων αναφοράς. Με την παροχή του σταθμού βαθμολόγησης πισσών, η διαδικασία μέτρησης μπορεί εύκολα να προσαρμοστεί για να περιλάβει τις μετρήσεις αναφοράς σε κανονική βάση ώστε να αυξηθεί η αξιοπιστία των τιμών μέτρησης που λαμβάνονται από scatterometry. Σε ένα ιδιαίτερο παράδειγμα, ένα αντίστοιχο σύνολο οδηγιών για την εκτέλεση της μέτρησης βαθμολόγησης μπορεί να εφαρμοστεί σε μια self-test ρουτίνα του scatterometry συστήματος.
