Two phase modulators or polarizing elements are employed to modulate the
polarization of an interrogating radiation beam before and after the beam
has been modified by a sample to be measured. Radiation so modulated and
modified by the sample is detected and up to 25 harmonics may be derived
from the detected signal. The up to 25 harmonics may be used to derive
ellipsometric and system parameters, such as parameters related to the
angles of fixed polarizing elements, circular deattenuation,
depolarization of the polarizing elements and retardances of phase
modulators. A portion of the radiation may be diverted for detecting
sample tilt or a change in sample height. A cylindrical objective may be
used for focusing the beam onto the sample to illuminate a circular spot
on the sample. The above-described self-calibrating ellipsometer may be
combined with another optical measurement instrument such as a
polarimeter, a spectroreflectometer or another ellipsometer to improve the
accuracy of measurement and/or to provide calibration standards for the
optical measurement instrument. The self-calibrating ellipsometer as well
as the combined system may be used for measuring sample characteristics
such as film thickness and depolarization of radiation caused by the
sample.
Os moduladores bifásicos ou os elementos polarizando são empregados para modular o polarization de um feixe interrogating da radiação o feixe foi modificado before.and.after que por uma amostra a ser medida. A radiação assim que modulado e modificado pela amostra é detectada e até 25 harmonics podem ser derivados do sinal detectado. Os até 25 harmonics podem ser usados derivar parâmetros ellipsometric e do sistema, tais como os parâmetros relacionados aos ângulos de elementos polarizando fixos, do deattenuation circular, do depolarization dos elementos polarizando e dos retardances de moduladores da fase. Uma parcela da radiação pode ser desviada detectando a inclinação da amostra ou uma mudança na altura da amostra. Um objetivo cilíndrico pode ser usado focalizando o feixe na amostra para iluminar um ponto circular na amostra. O ellipsometer self-calibrando above-described pode ser combinado com um outro instrumento ótico da medida tal como um polarímetro, um spectroreflectometer ou um outro ellipsometer para melhorar a exatidão da medida e/ou para fornecer padrões da calibração para o instrumento ótico da medida. O ellipsometer self-calibrando as.well.as o sistema combinado pode ser usado medindo características da amostra tais como a espessura de película e o depolarization da radiação causados pela amostra.
