To carry out measurements in the vacuum, for example for quality control in
the production of semiconductors, conventional stand alone measuring
machines are installed. They are very cost, space and time intensive. To
enable a process oriented measurement under optimal conditions, a device
with a two part case is proposed that can be moved in a vacuum chamber,
whereby one part of the case projects into the vacuum chamber and the
other part of the case is located outside the vacuum chamber. The case can
receive a measurement system. In addition, an adjusting device, engaging
with the case, and a counterpull device, engaging with the second part of
the case, are provided.
Per effettuare le misure nel vuoto, per esempio per controllo di qualità nella produzione dei semiconduttori, le macchine di misurazione sole del basamento convenzionale sono installate. Molto sono costate, spazio e tempo intensi. Per permettere una misura orientata trattata nelle circostanze ottimali, un dispositivo con una cassa delle due parti è proposto che può essere spostata in un alloggiamento di vuoto, per cui una parte del caso si proietta nell'alloggiamento di vuoto e l'altra parte del caso è posizionata fuori dell'alloggiamento di vuoto. Il caso può ricevere un sistema di misura. In più, un dispositivo di registrazione, agganciandosi con il caso e un dispositivo del counterpull, agganciantesi con la seconda parte del caso, è fornito.
