Method for producing a one- or multidimensional detector array

   
   

In order to produce a one- or multidimensional detector array (9; 15, 17; 70) for detecting electromagnetic radiation, in particular for detecting X-rays, a layer composite (1) is produced. The latter has a sensor layer (3) with a material (M) sensitive to the radiation, and a carrier layer (5). In order to subdivide the sensor layer (3) into individual elements (E11, E12, . . . E1m, E21, . . . Enm) that are isolated from one another, separating spaces (7) are introduced into the sensor layer (3) by material (M) being removed. Preferably, a reflector material (R) is introduced or filled into the separating spaces (7). In order to produce a plurality of one-dimensional detector arrays (70), a structure of elements (E11, E12, . . . E1m, E21, . . . Enm) arranged in a matrix-like manner, which structure is produced by the separating spaces (7) is broken down into row portions (52, 53, . . . 63) or into column portions.

Afin de produire une rangée multidimensionnelle un ou de détecteur (9 ; 15. 17 ; 70) pour détecter le rayonnement électromagnétique, en particulier pour détecter des rayons X, un composé de couche (1) est produit. Le dernier a une couche de sonde (3) avec un (m) matériel sensible au rayonnement, et une couche de porteur (5). Afin de subdiviser la sonde posez (3) dans les différents éléments (E11, E12. . . E1m, E21. . . Enm) qui sont isolés les uns des autres, séparant les espaces (7) sont présentés dans la couche de sonde (3) par le matériel (m) étant enlevé. De préférence, un matériel de réflecteur (r) est présenté ou versé dans les espaces de séparation (7). Afin de produire une pluralité des rangées unidimensionnelles de détecteur (70), une structure des éléments (E11, E12. . . E1m, E21. . . Enm) disposé dans a matrice-comme la façon, que la structure est produit par les espaces de séparation (7) est décomposé en rangée partage (52, 53. . . 63) ou dans des parties de colonne.

 
Web www.patentalert.com

< System for the registration of radiation images

< Method and device for coating a product

> Method for organizing the execution of electronically controlled switching processes

> Device for subdividing stacks

~ 00134