A cobalt-chromium-boron-platinum sputtering target alloy having multiple
phases. The alloy can include Cr, B, Ta, Nb, C, Mo, Ti, V, W, Zr, Zn, Cu,
Hf, O, Si or N. The alloy is prepared by mixing Pt powder with a
cobalt-chromium-boron master alloy, ball milling the powders and HIP'ing
to densify the powder into the alloy.
Un cobalt-chrome-bore-platine pulvérisant l'alliage de cible ayant des phases multiples. L'alliage peut inclure le Cr, le B, le Ta, la NOTA:, le C, le MOIS, le Ti, le V, le W, le Zr, le Zn, le Cu, l'à haute fréquence, le O, le silicium ou le N. L'alliage est préparé en mélangeant la poudre de pinte à un alliage de maître de cobalt-chrome-bore, boule fraisant les poudres et HIP'ing densify la poudre dans l'alliage.
