The effective coherence of an undulator beamline can be tailored to
projection lithography requirements by using a simple single moving
element and a simple stationary low-cost spherical mirror. The invention
is particularly suited for use in an illuminator device for an optical
image processing system requiring partially coherent illumination. The
illuminator includes: (i) source of coherent or partially coherent
radiation which has an intrinsic coherence that is higher than the desired
coherence; (ii) a reflective surface that receives incident radiation from
said source; (iii) means for moving the reflective surface through a
desired range of angles in two dimensions wherein the rate of the motion
is fast relative to integration time of said image processing system; and
(iv) a condenser optic that re-images the moving reflective surface to the
entrance plane of said image processing system, thereby, making the
illumination spot in said entrance plane essentially stationary.
La coerenza efficace di un beamline di undulator può essere adeguata a i requisiti di litografia della proiezione usando un singolo elemento commovente semplice e uno specchio sferico a basso costo stazionario semplice. L'invenzione è adatta specialmente per uso in un dispositivo della lampadina per un sistema ottico di elaborazione di immagini che richiede l'illuminazione parzialmente coerente. La lampadina include: (i) fonte di radiazione coerente o parzialmente coerente che ha una coerenza intrinseca che è superiore alla coerenza voluta; (ii) una superficie riflettente che riceve la radiazione di avvenimento dalla fonte detta; (iii) mezzi per lo spostamento della superficie riflettente attraverso una gamma voluta di angoli in due dimensioni in cui il tasso del movimento è a tempo di integrazione relativo veloce del sistema detto di elaborazione di immagini; e (iv) un condensatore ottico che re-immagini la superficie riflettente commovente al piano dell'entrata del sistema detto di elaborazione di immagini, quindi, rendente il punto di illuminazione in aereo detto dell'entrata essenzialmente stazionario.
