A probe card for testing semiconductor wafers, and a method and system for
testing wafers using the probe card are provided. The probe card is
configured for use with a conventional testing apparatus, such as a wafer
probe handler, in electrical communication with test circuitry. The probe
card includes an interconnect substrate having contact members for
establishing electrical communication with contact locations on the wafer.
The probe card also includes a membrane for physically and electrically
connecting the interconnect substrate to the testing apparatus, and a
compressible member for cushioning the pressure exerted on the
interconnect substrate by the testing apparatus. The interconnect
substrate can be formed of silicon with raised contact members having
penetrating projections. Alternately the contact members can be formed as
indentations for testing bumped wafers. The membrane can be similar to
multi layered TAB tape including metal foil conductors attached to a
flexible, electrically-insulating, elastomeric tape. The probe card can be
configured to contact all of the dice on the wafer at the same time, so
that test signals can be electronically applied to selected dice as
required.
Een sondekaart voor het testen van halfgeleiderwafeltjes, en een methode en een systeem om wafeltjes te testen die de sondekaart gebruiken worden verstrekt. De sondekaart wordt gevormd voor gebruik met een conventioneel het testen apparaat, zoals een manager van de wafeltjesonde, in elektrocommunicatie met testschakelschema. De sondekaart omvat een interconnect substraat dat contactleden voor het vestigen van elektrocommunicatie met contactplaatsen over het wafeltje heeft. De sondekaart omvat ook een membraan voor fysisch en elektrisch het verbinden van het interconnect substraat met de het testen apparaten, en een samendrukbaar lid voor het beschermen van de druk die op het interconnect substraat door de het testen apparaten wordt uitgeoefend. Het interconnect substraat kan van silicium met opgeheven contactleden worden gevormd die het doordringen projecties hebben. Afwisselend kunnen de contactleden als inkepingen worden gevormd voor het testen van gestoten wafeltjes. Het membraan kan aan de multi gelaagde band van het LUSJE met inbegrip van de leiders gelijkaardig zijn van de metaalfolie in bijlage aan een flexibele, elektrisch-isoleert, elastomeric band. De sondekaart kan worden gevormd om elk van te contacteren dobbelt tezelfdertijd op het wafeltje zodat de testsignalen elektronisch op geselecteerd kunnen worden toegepast zoals gevraagd dobbelen.
