A packaged optical micro-mechanical device. A die includes one or more
optical micro-mechanical devices on a first surface of a substrate. The
first surface includes a die reference surface. A package frame includes
an aperture and a package frame reference surface proximate the aperture
adapted to receive the die reference surface such that the optical
micro-mechanical devices are located in the aperture. One or more
V-grooves are positioned relative to an optical interface reference plane
adjacent to the micro-mechanical devices and terminating adjacent to the
aperture. One or more optical fibers are located in the V-grooves
optically coupled with one or more of the optical micro-mechanical
devices.
Un dispositivo micro-meca'nico óptico empaquetado. Un dado incluye unos o más dispositivos micro-meca'nicos ópticos en una primera superficie de un substrato. La primera superficie incluye una superficie de referencia del dado. Un marco del paquete incluye una abertura y una superficie de referencia de marco del paquete próximas la abertura adaptada para recibir la superficie de referencia del dado tales que los dispositivos micro-meca'nicos ópticos están situados en la abertura. Unos o más V-surcos se colocan concerniente a un plano de referencia óptico del interfaz adyacente a los dispositivos micro-meca'nicos y a terminar adyacente a la abertura. Unas o más fibras ópticas están situadas en los V-surcos ópticamente juntados con uno o más de los dispositivos micro-meca'nicos ópticos.
