A micro electromechanical switch structure includes a beam that is
continuously controllable by adding an actuation electrode proximate to,
but outside a beam projection. The beam projection is onto and
perpendicular to a plane of the actuation electrode. By placing an
actuation electrode beside a beam instead of underneath the beam, the
actuation electrode can continuously control the movement of the beam from
a rest position to a complete actuation.
Une structure électromécanique micro de commutateur inclut un faisceau au lequel est sans interruption contrôlable en ajoutant une électrode de mise en action proche, mais en dehors d'une projection de faisceau. La projection de faisceau est sur et perpendiculaire à un plan de l'électrode de mise en action. En plaçant une électrode de mise en action près d'un faisceau au lieu de sous le faisceau, l'électrode de mise en action peut sans interruption commander le mouvement du faisceau d'une position de repos à une mise en action complète.
