A micro-electrical-mechanical system (MEMS) switch. The switch includes a
compliant spring that supports a contact shuttle for movement in a lateral
direction generally parallel to the substrate and biases the contact
shuttle to a normally open switch state position. A plurality of moving
electrodes are coupled to the contact shuttle. A plurality of fixed
electrodes are interleaved with the moving electrodes. The moving
electrodes and the fixed electrodes have generally planar major surfaces
perpendicular to the plane of the substrate. Electrostatic forces
developed between the fixed and moving electrodes cause the contact
shuttle to move to a closed switch state position in response to the
application of an actuation voltage. The moving direction of the moving
electrodes and the contact shuttle is along a longitudinal axis parallel
to the substrate and perpendicular to the planar major surfaces of the
electrodes.
Ein Mikro--elektrisch-mechanischer System (MEMS) Schalter. Der Schalter schließt einen gefälligen Frühling ein, der einen Kontaktdoppelventilkegel für Bewegung in einer seitlichen Richtung stützt, die zum Substrat im Allgemeinen parallel ist und den Kontaktdoppelventilkegel in eine normalerweise geöffnete Schalterzustandposition beeinflußt. Eine Mehrzahl der beweglichen Elektroden werden zum Kontaktdoppelventilkegel verbunden. Eine Mehrzahl der örtlich festgelegten Elektroden werden mit den beweglichen Elektroden durchgeschoben. Die beweglichen Elektroden und die örtlich festgelegten Elektroden haben die im Allgemeinen planaren Hauptoberflächen, die zur Fläche des Substrates senkrecht sind. Elektrostatische Kräfte entwickelten sich zwischen dem örtlich festgelegten und den beweglichen Elektroden veranlassen Sie den Kontaktdoppelventilkegel, auf eine geschlossene Schalterzustandposition in Erwiderung auf die Anwendung einer Betätigung Spannung zu bewegen. Die bewegliche Richtung der beweglichen Elektroden und des Kontaktdoppelventilkegels ist entlang einer Längsmittellinie, die zum Substrat und zum Senkrechten zu den planaren Hauptoberflächen der Elektroden parallel ist.
