An excimer or molecular fluorine laser system a wavefront compensating
optic within its resonator for adjusting the curvature of the wavefront of
the beam for compensating wavefront distortions and thereby enhancing the
spectral purity of the beam. The wavefront compensating optic may be a
plate, such as a null lens. One or both surfaces of the null lens may be
adjustable and/or have an adjustable curvature for controlling the
wavefront distortion compensation. A multi-compartment enclosure may be
included having at least one optical component of the line-narrowing unit
within each compartment. An atmosphere within at least one compartment is
preferably controlled for controlling the spectral purity of the beam by
controlling an amount of wavefront distortion compensation. The wavefront
compensating optic may be sealably disposed between adjacent compartments.
Um excimer ou um sistema molecular do laser do fluorine uma compesação do wavefront ótica dentro de seu ressonador para ajustar a curvatura do wavefront do feixe para distorções de compesação do wavefront e desse modo realçar o purity spectral do feixe. A compesação do wavefront ótica pode ser uma placa, tal como uma lente nula. Uma ou amba a superfície da lente nula pode ser ajustável e/ou ter uma curvatura ajustável para controlar a compensação da distorção do wavefront. Um cerco do multi-compartimento pode ser incluído tendo ao menos um componente ótico da unidade linha-estreitando-se dentro de cada compartimento. Uma atmosfera dentro ao menos de um compartimento é preferivelmente controlada para controlar o purity spectral do feixe controlando uma quantidade de compensação da distorção do wavefront. A compesação do wavefront ótica pode sealably ser disposta entre compartimentos adjacentes.
