An injection seeded modular gas discharge laser system capable of producing
high quality pulsed laser beams at pulse rates of about 4,000 Hz or
greater and at pulse energies of about 5 mJ or greater. Two separate
discharge chambers are provided, one of which is a part of a master
oscillator producing a very narrow band seed beam which is amplified in
the second discharge chamber. The chambers can be controlled separately
permitting separate optimization of wavelength parameters in the master
oscillator and optimization of pulse energy parameters in the amplifying
chamber. A preferred embodiment in a F.sub.2 laser system configured as a
MOPA and specifically designed for use as a light source for integrated
circuit lithography. In the preferred MOPA embodiment, each chamber
comprises a single tangential fan providing sufficient gas flow to permit
operation at pulse rates of 4000 Hz or greater by clearing debris from the
discharge region in less time than the approximately 0.25 milliseconds
between pulses. The master oscillator is equipped with a line selection
package for selecting the strongest F.sub.2 spectral line.
Впрыска осеменила модульную систему лазера разрядки газа способную производить высокое качество пульсировала лазерныйа луч на тарифы ИМПА ульс около 4.000 герц или большой и на энергии ИМПА ульс mJ около 5 или больш. 2 отдельно камеры разрядки обеспечены, одно из которой будет частью мастерского генератора производящ очень узкий луч семени полосы который усилен в второй камере разрядки. Камеры можно контролировать отдельно позволяющ отдельно оптимизирование параметров длины волны в мастерском генераторе и оптимизирование параметров энергии ИМПА ульс в усиливаясь камере. Предпочитаемое воплощение в системе лазера F.sub.2 установленной как MOPA и специфически конструированной для пользы как источник света для литографирования интегрированной цепи. В предпочитаемом воплощении MOPA, каждая камера состоит из одиночного касательного вентилятора обеспечивая достаточно подачу газа для того чтобы позволить деятельность на тарифах ИМПА ульс 4000 герц или больш путем освобождать твердые частицы от зоны разрядки в меньше времени чем приблизительно 0.25 миллисекунды между ИМПАМИ ульс. Мастерский генератор оборудован с пакетом выбора линии для выбирать самую сильную спектральную линию F.sub.2.
