A MEMS-based latching device is described. In accordance with one
embodiment, a micro electromechanical system is formed on a substrate. The
system includes a positionable member capable of being moved between at
least two positions relative to the substrate. An actuator such as a comb
drive actuator is provided which may include a stationary comb mounted on
the substrate, a moveable comb interleaved with the stationary comb, and a
beam connected between the substrate and the moveable comb. The comb drive
actuator is coupled to a latching member so that the latching member can
be moved between a first position and a second position. In the first
position, the latching member engages the positionable member to prevent
the positionable member from moving. In the second position, the latching
member is disengaged from the positionable member to allow movement of the
positionable member. The combs of the comb drive actuator deflect the beam
to move the latching member from the first to the second position.
Eine MEMS-gegründete verriegelnde Vorrichtung wird beschrieben. In Übereinstimmung mit einer Verkörperung wird ein elektromechanisches Mikrosystem auf einem Substrat gebildet. Das System schließt ein positionable Mitglied ein, das zu zwischen mindestens zwei Positionen im Verhältnis zu dem Substrat verschoben werden fähig ist. Ein Auslöser so, die ein Kamm-Antrieb Auslöser geliefert wird, der einen stationären Kamm mit einschließen kann, brachte am Substrat, an einem beweglichen Kamm, der mit dem stationären Kamm durchgeschoben wurden, und an einem Lichtstrahl, der zwischen dem Substrat und dem beweglichen Kamm angeschlossen wurde an. Der Kamm-Antrieb Auslöser wird zu einem verriegelnden Mitglied verbunden, damit das verriegelnde Mitglied zwischen eine erste Position und eine zweite Position verschoben werden kann. In der ersten Position engagiert sich das verriegelnde Mitglied das positionable Mitglied, das positionable Mitglied am Bewegen zu verhindern. In der zweiten Position wird das verriegelnde Mitglied vom positionable Mitglied gelöst, um Bewegung des positionable Mitgliedes zu erlauben. Die Kämme des Kamm-Antrieb Auslösers lenken den Lichtstrahl ab, um das verriegelnde Mitglied vom ersten bis die zweite Position zu verschieben.
