After the first workpieces have been processed in the first process portion
while the second workpieces are being processed in the second process
portion, the first process portion in which the first process condition
has been set for the third process condition. By repeating such processes,
a plurality of workpieces can be successively processed in different types
of process conditions.
Nachdem die ersten Werkstücke im ersten Prozeßteil verarbeitet worden sind, während die zweiten Werkstücke im zweiten Prozeßteil verarbeitet werden, der erste Prozeßteil, in dem die erste Prozeßbedingung für die dritte Prozeßbedingung eingestellt worden ist. Indem man solche Prozesse wiederholt, kann eine Mehrzahl der Werkstücke in den unterschiedlichen Arten von Prozeßbedingungen mehrmals hintereinander verarbeitet werden.
