A method for manufacturing an electrostatic actuator comprises a vibrating
plate, an electrode plate facing the vibrating plate, and a vibrating
chamber formed between the electrode plate and the vibrating plate,
wherein the vibrating plate is displaced by electrostatic force, by
applying voltage between the vibrating plate and the electrode plate, the
method comprises: a process for forming a pressure compensating chamber
communicating with the vibrating chamber; a process for forming a
displacement plate at a portion of the pressure compensating chamber,
displaceable according to external atmospheric pressure, into a warped
form curved so as to protrude in a direction away from the facing inner
wall of the pressure compensating chamber; and a process for shutting off
and sealing the pressure compensating chamber from the external
atmosphere, along with the vibrating chamber.
Eine Methode für die Produktion eines elektrostatischen Auslösers enthält eine vibrierende Platte, eine Elektrode Platte, welche die vibrierende Platte gegenüberstellt, und ein vibrierender Raum, der zwischen der Elektrode Platte und der vibrierenden Platte gebildet wird, worin die vibrierende Platte durch elektrostatische Kraft verlegt wird, indem man Spannung zwischen der vibrierenden Platte und der Elektrode Platte anwendet, die Methode enthält: ein Prozeß für die Formung eines ausgleichenden Raumes des Drucks, der den vibrierenden Raum verbundenIST; ein Prozeß für die Formung einer Versetzung Platte an einem Teil des ausgleichenden Raumes des Drucks, ersetzbar entsprechend externem atmosphärischem Druck, in eine verworfene Form kurvte, um in einer Richtung weg von der inneren Wand der Einfassungen des ausgleichenden Raumes des Drucks hervorzustehen; und ein Prozeß für das Abstellen und das Versiegeln des ausgleichenden Raumes des Drucks von der externen Atmosphäre, zusammen mit dem vibrierenden Raum.
