The invention features an apparatus and a method for supplying ozonated
water to more than one process tool. Ozonated water of a first
concentration received from an ozonated water generator and water received
from a source are mixed to produce ozonated water of a second
concentration. The ozonated water of a second concentration is supplied to
a first process tool. Ozonated water from the ozonated water generator is
supplied to a second process tool while supplying the ozonated water of
the second concentration to the first process tool.
Вымысел отличает прибором и метод для поставлять ozonated вода до больше чем один отростчатый инструмент. Вода Ozonated первой концентрации полученной от ozonated генератор воды и вода полученная от источника смешана для того чтобы произвести ozonated вода второй концентрации. Ozonated вода второй концентрации поставляет к первому инструменту процесса. Вода Ozonated от ozonated генератор воды поставлена к второму инструменту процесса пока поставлять ozonated вода второй концентрации к первого инструмента процесса.
