Disclosed are a magnetic bearing device with a vibration restraining
function, a magnetic bearing device with a vibration estimating function,
and a pump device with the magnetic bearing devices mounted thereto, in
which it is possible to realize a reduction in vibration in the apparatus
system as a whole inclusive of the equipment associated with the vacuum
pump without newly providing a vibration sensor. In a vibration detector,
a multiplication result obtained by multiplying the Laplace transformation
of a displacement of a rotor by a predetermined transfer function is added
to a multiplication result obtained by multiplying the Laplace
transformation of a variation in an unbalance force acting on the rotor by
the reciprocal of the mass of the rotor. The result of this calculation is
reversed in polarity and is added to the output of a compensator by an
adder.
Показаны магнитное приспособление подшипника с функцией вибрации задерживая, магнитное приспособление подшипника при вибрация оценивая функцию, и приспособление насоса при магнитные приспособления подшипника установленные к тому, в которых по возможности осуществить уменьшение в вибрации в системе прибора в целом включительной оборудования связанного с вачуумным насосом без нов обеспечивать датчик вибрации. В детекторе вибрации, результат умножения полученный путем умножать преобразование Laplace смещения ротора предопределенной функцией перехода добавлен к результату умножения полученному путем умножать преобразование Laplace изменения в усилии неуравновешенности действуя на роторе взаимным массы ротора. Результат этого вычисления обращен в полярности и добавлен к выходу компенсатора сумматором.
