A holder driving device has: a holder holding a substrate, a shaft
supporting the holder, a driver for driving the shaft reciprocatingly and
linearly in the direction along the shaft, a bearing unit having
mechanical linear motion bearings for supporting the shaft thereon and
having one or more stages of exhaust chambers surrounding the shaft; a
vacuum pump for vacuum-pumping the exhaust chambers of the bearing unit;
and a gas replacement mechanism for supplying dry gas, the humidity of
which is lower than that of at least the surrounding atmosphere and the
pressure of which is positive, from the outside of the bearing unit to at
least the neighborhood of an atmosphere-side entrance portion of a gap
between an end portion of the bearing unit one the side opposite to the
vacuum vessel and the shaft passing the end portion, so as to replace the
atmosphere near the entrance portion by the dry gas.
Um suporte que dirige o dispositivo tem: um suporte que prende uma carcaça, um eixo que suportam o suporte, um excitador para dirigir o eixo reciprocatingly e linear no sentido ao longo do eixo, uma unidade do rolamento que tem os rolamentos lineares mecânicos do movimento para suportar o eixo thereon e ter um ou mais estágio das câmaras da exaustão que cercam o eixo; uma bomba de vácuo para vácuo-bombear as câmaras da exaustão da unidade do rolamento; e um mecanismo da recolocação do gás para fornecer o gás seco, a umidade de que é mais baixa do que aquela ao menos da atmosfera circunvizinha e a pressão de que é positivo, da parte externa da unidade do rolamento ao menos à vizinhança de uma parcela da entrada do atmosfera-lado de uma abertura entre uma parcela de extremidade da unidade uma do rolamento o lado oposto à embarcação do vácuo e ao eixo que passam a parcela de extremidade, para substituir a atmosfera perto da parcela da entrada pelo gás seco.
