A serialization process presents an efficient method of creating serial
numbers on a ceramic-like semiconductor wafer by forming a non-rigid
photomask that incorporates character specifications for the serial
numbers. The non-rigid photomask is retained in a rigid, optically
transparent photomask holder that enables the photomask to be handled as a
rigid structure. Upon preparation of the wafer, the serial numbers are
created onto wafer dies using a combined process involving
photolithography, and a reactive ion etching process with a selective etch
rate. The serialization process enables a rapid creation of serial
numbers, with the selective RIE process substantially increasing the
optical contrast of the characters without the need for deep trenches and
without generation of excessive debris.
Процесс serialization представляет эффективный метод создавать серийныйа номер на а керамическ-kak вафля полупроводника путем формировать non-rigid photomask включает спецификации характера для серийныйа номер. Non-rigid photomask сохранен в твердом, оптически прозрачном держателе photomask который позволяет photomask быть обращанным как твердая структура. На подготовке вафли, серийныйа номер созданы на вафлю умирают использовать совмещенный процесс включая фотолитографию, и реактивный процесс вытравливания иона с селективным тарифом etch. Процесс serialization включает быстро творение серийныйа номер, при селективный процесс RIE существенн увеличивая оптически контраст характеров без потребности для глубоких шанцов и без поколения чрезмерно твердых частиц.
