A film is formed on the discharge parts of the main discharge electrodes.
In order to prevent erosion of the discharge parts by the halogen gas
contained in the laser gas, a substance that tends not to react with the
halogen gas, i.e., a halogen-resistant substance, is used for this film.
Furthermore, in order to prevent deformation of the discharge parts by the
bombardment and heat of the main discharge, a substance that has a higher
hardness than the metal of the main discharge electrodes or a substance
that has a higher melting point than the metal of the main discharge
electrodes is used for this film. As a result, deterioration of the
electrodes can be inhibited, so that a stable laser output can be
obtained, and the replacement interval of the electrodes can be extended.
Un film est formé sur les pièces de décharge des électrodes principales de décharge. Afin d'empêcher l'érosion des pièces de décharge par le gaz halogène contenu dans le gaz de laser, une substance qui tend à ne pas réagir avec le gaz halogène, c.-à-d., une substance halogène-résistante, est employée pour ce film. En outre, afin d'empêcher la déformation de la décharge partie par le bombardement et la chaleur de la décharge principale, une substance qui a une dureté plus élevée que le métal des électrodes principales de décharge ou d'une substance qui a un point de fusion plus élevé que le métal des électrodes principales de décharge est employé pour ce film. En conséquence, la détérioration des électrodes peut être empêchée, de sorte qu'un résultat stable de laser puisse être obtenu, et l'intervalle de remplacement des électrodes peut être prolongé.
