A MEMS driver includes a digital control block receiving an external
digital control word and generating control signals for use in controlling
a reference current source. The reference current source generates a
reference current to a high voltage output stage in response to the
digital control signals. The high voltage output stage generates an output
current to an integrator in response to the reference current. The
integrator provides an output voltage to a drive electrode that
electrostically controls the position of the MEMS structure.
Водитель MEMS вклюает блок цифрового управления получая внешнее слово цифрового управления и производя сигналы управления для пользы в контролировать источник течения справки. Источник справки в настоящее время производит течение справки к высоковольтному этапу выхода in response to сигналы цифрового управления. Высоковольтный этап выхода производит течение выхода к интегратору in response to течение справки. Интегратор снабубежит напряжение тока выхода электрод привода electrostically контролирует положение структуры MEMS.
