A MEMS optical switch includes a movable cantilevered beam with a waveguide
corresponding to one port of the switch. The beam is designed for in-plane
motion and can be deflected, e.g., using a three-electrode motion actuator
having one electrode on each side of the beam, which itself acts as the
third electrode. The beam moves toward a side electrode in response to a
voltage difference applied between the beam and that electrode. The beam
has two terminal positions, each defined by a stopper. At each terminal
position, a bumper portion of the beam is pushed against a corresponding
stopper, which aligns the waveguide in the beam with one of two stationary
waveguides, each corresponding to a port of the switch. The MEMS switch
may be fabricated using a single silicon-on-insulator (SOI) wafer.
Een MEMS de optische schakelaar een roerend goed omvat cantilevered straal met een golfgeleider die aan één haven van de schakelaar beantwoordt. De straal wordt ontworpen voor in-vlakke motie en kan worden doen afwijken, b.v., gebruikend three-electrode motieactuator die één elektrode aan elke kant van de straal heeft, die zelf als derde elektrode dienst doet. De straal is naar een zijelektrode in antwoord op een voltageverschil dat tussen de straal en die elektrode wordt toegepast op weg. De straal heeft twee eindposities, elk bepaald door een kurk. Bij elke eindpositie, wordt een bumpergedeelte van de straal geduwd tegen een overeenkomstige kurk, die de golfgeleider in de straal op één van twee stationaire golfgeleiders richt, elk die aan een haven van de schakelaar beantwoordt. De schakelaar MEMS kan worden vervaardigd gebruikend één enkel silicon-on-insulator (SOI) wafeltje.
