The present invention provides for a method of automating a microelectronic
manufacturing process by configuring application objects that implement a
domain knowledge for a piece of equipment and implementing a workflow
using the application object where the workflow represents a sequence of
steps in the microelectronic manufacturing process. The method is embodied
in a computer program that is part of a computer system.
Присытствыющий вымысел обеспечивает для метода автоматизировать микроэлектронный процесса производства путем устанавливать применение возражает тот инструмент знание домена для части оборудования и снабжать workflow использующ предмет применения где workflow представляет последовательность шагов в микроэлектронный процесса производства. Метод овеществлян в компьутерной программой будет часть системы компьютера.
