The present invention includes a system for efficient and effective
detection and characterization of dishing and/or erosion. An x-ray
emission inducer is used to scan a target on a sample. The target can be
scanned at an acute incident angle to allow characterization of the
dishing and/or erosion and analysis of the metallization or thin film
layer topology.
La actual invención incluye un sistema para la detección eficiente y eficaz y caracterización de servir y/o de la erosión. Un inductor de la emisión de la radiografía se utiliza para explorar una blanco en una muestra. La blanco se puede explorar a un ángulo agudo del incidente para permitir la caracterización de servir y/o la erosión y análisis de la metalización o de la topología de la capa de la película fina.
