Method of coating micro-electromechanical devices

   
   

A method for coating a micro-electromechanical systems device with a silane coupling agent by a) mixing the silane coupling agent with a low volatile matrix material in a coating source material container; b) placing the micro-electromechanical systems device in a vacuum deposition chamber which in connection with the coating source material container; c) pumping the vacuum deposition chamber to a predetermined pressure; and maintaining the pressure of the vacuum deposition chamber for a period of time in order to chemically vapor deposit the silane coupling agent on the surface of the micro-electromechanical systems device.

Eine Methode für das Beschichten einer Mikro-elektromechanischen Systeme Vorrichtung mit einem Siliziumwasserstoffkoppelung Mittel durch A) das Mischen des Siliziumwasserstoffkoppelung Mittels mit einem niedrigen löschbaren Matrixmaterial in einem beschichtenden Ausgangsstoffbehälter; B), die Mikro-elektromechanische Systeme Vorrichtung in einen Vakuumaufdampfenraum legend der in Zusammenhang mit dem beschichtenden Ausgangsstoffbehälter; c) Pumpen des Vakuumaufdampfenraumes zu einem vorbestimmten Druck; und den Druck des Vakuumaufdampfenraumes während eines Zeitabschnitts zwecks vapor beibehalten chemisch Ablagerung das Siliziumwasserstoffkoppelung Mittel auf der Oberfläche der Mikro-elektromechanischen Systeme Vorrichtung.

 
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