A method for coating a micro-electromechanical systems device with a silane
coupling agent by a) mixing the silane coupling agent with a low volatile
matrix material in a coating source material container; b) placing the
micro-electromechanical systems device in a vacuum deposition chamber
which in connection with the coating source material container; c) pumping
the vacuum deposition chamber to a predetermined pressure; and maintaining
the pressure of the vacuum deposition chamber for a period of time in
order to chemically vapor deposit the silane coupling agent on the surface
of the micro-electromechanical systems device.
Eine Methode für das Beschichten einer Mikro-elektromechanischen Systeme Vorrichtung mit einem Siliziumwasserstoffkoppelung Mittel durch A) das Mischen des Siliziumwasserstoffkoppelung Mittels mit einem niedrigen löschbaren Matrixmaterial in einem beschichtenden Ausgangsstoffbehälter; B), die Mikro-elektromechanische Systeme Vorrichtung in einen Vakuumaufdampfenraum legend der in Zusammenhang mit dem beschichtenden Ausgangsstoffbehälter; c) Pumpen des Vakuumaufdampfenraumes zu einem vorbestimmten Druck; und den Druck des Vakuumaufdampfenraumes während eines Zeitabschnitts zwecks vapor beibehalten chemisch Ablagerung das Siliziumwasserstoffkoppelung Mittel auf der Oberfläche der Mikro-elektromechanischen Systeme Vorrichtung.
