A system is provided for sensing, orienting, and transporting wafers in an
automated wafer handling process that reduces the generation of particles
and contamination so that the wafer yield is increased. The system
includes a robotic arm for moving a wafer from one station to a
destination station, and an end-effector connected to an end of the
robotic arm for receiving the wafer. The end-effector includes a mechanism
for gripping the wafer, a direct drive motor for rotating the wafer
gripping mechanism, and at least one sensor for sensing the location and
orientation of the wafer. A control processor is provided for calculating
the location of the center and the notch of the wafer based on
measurements by the sensor(s). Then, the control processor generates an
alignment signal for rotating the wafer gripping mechanism so that the
wafer is oriented at a predetermined position on the end-effector while
the robotic arm is moving to another station.
Een systeem wordt verstrekt voor het ontdekken van, het oriënteren van, en het vervoeren van wafeltjes in een geautomatiseerd wafeltje behandelend proces dat de generatie van deeltjes en verontreiniging vermindert zodat de wafeltjeopbrengst wordt verhoogd. Het systeem omvat een robotachtig wapen voor het bewegen van een wafeltje van één post aan een bestemmingspost, en end-effector die aan een eind van het robotachtige wapen voor het ontvangen van het wafeltje wordt aangesloten. End-effector omvat een mechanisme om het wafeltje, een directe aandrijvingsmotor voor het roteren van het wafeltje grijpende mechanisme, en minstens één sensor te grijpen voor het ontdekken van de plaats en de richtlijn van het wafeltje. Een controlebewerker wordt voor het berekenen van de plaats van het centrum en de inkeping van het wafeltje verstrekt dat op metingen door de sensor (s) wordt gebaseerd. Dan, produceert de controlebewerker een groeperingssignaal voor het roteren van het wafeltje grijpende mechanisme zodat het wafeltje bij een vooraf bepaalde positie inzake end-effector georiënteerd is terwijl het robotachtige wapen zich aan een andere post beweegt.
