Substrate handling system for aligning and orienting substrates during a transfer operation

   
   

A system is provided for sensing, orienting, and transporting wafers in an automated wafer handling process that reduces the generation of particles and contamination so that the wafer yield is increased. The system includes a robotic arm for moving a wafer from one station to a destination station, and an end-effector connected to an end of the robotic arm for receiving the wafer. The end-effector includes a mechanism for gripping the wafer, a direct drive motor for rotating the wafer gripping mechanism, and at least one sensor for sensing the location and orientation of the wafer. A control processor is provided for calculating the location of the center and the notch of the wafer based on measurements by the sensor(s). Then, the control processor generates an alignment signal for rotating the wafer gripping mechanism so that the wafer is oriented at a predetermined position on the end-effector while the robotic arm is moving to another station.

Een systeem wordt verstrekt voor het ontdekken van, het oriënteren van, en het vervoeren van wafeltjes in een geautomatiseerd wafeltje behandelend proces dat de generatie van deeltjes en verontreiniging vermindert zodat de wafeltjeopbrengst wordt verhoogd. Het systeem omvat een robotachtig wapen voor het bewegen van een wafeltje van één post aan een bestemmingspost, en end-effector die aan een eind van het robotachtige wapen voor het ontvangen van het wafeltje wordt aangesloten. End-effector omvat een mechanisme om het wafeltje, een directe aandrijvingsmotor voor het roteren van het wafeltje grijpende mechanisme, en minstens één sensor te grijpen voor het ontdekken van de plaats en de richtlijn van het wafeltje. Een controlebewerker wordt voor het berekenen van de plaats van het centrum en de inkeping van het wafeltje verstrekt dat op metingen door de sensor (s) wordt gebaseerd. Dan, produceert de controlebewerker een groeperingssignaal voor het roteren van het wafeltje grijpende mechanisme zodat het wafeltje bij een vooraf bepaalde positie inzake end-effector georiënteerd is terwijl het robotachtige wapen zich aan een andere post beweegt.

 
Web www.patentalert.com

< Robot information processing system

< System for encoding and manipulating models of objects

> Work transfer device

> Positioning-controlling apparatus and positioning-controlling method, and part-mounting equipment and part-mounting method

~ 00141