A method and system for providing a texture to a surface of a workpiece,
such as a chamber component is provided. The method comprises providing a
workpiece to a texturizing chamber and scanning a beam of electromagnetic
energy across the surface of the workpiece to form a plurality of features
thereon. The features formed are generally depressions, protuberances, and
combinations thereof. The chamber components may include, for example, a
chamber shield and related assembly, a target, a shadow ring, a contact
ring, a substrate support or other component disposable within a
processing chamber. Also provided is a method of reducing contamination in
a process chamber. The method comprises scanning a beam of electromagnetic
energy across a surface of one or more process chamber components to form
a plurality of features thereon, positioning the one or more chamber
components into a process chamber, and initiating a process sequence
within the process chamber.
Een methode en een systeem om een textuur aan een oppervlakte van een werkstuk, zoals een kamercomponent te verstrekken worden verstrekt. De methode bestaat uit het verstrekken van een werkstuk aan een texturizing kamer en het aftasten van een straal van elektromagnetische energie over de oppervlakte van het werkstuk om een meerderheid van eigenschappen daarop te vormen. De gevormde eigenschappen zijn over het algemeen depressies, protuberances, en daarvan combinaties. De kamercomponenten kunnen, bijvoorbeeld, een kamerschild en een verwante assemblage, een doel, een schaduwring, een contactring, een substraatsteun of ander componentenwegwerpproduct binnen een verwerkingskamer omvatten. Op voorwaarde dat ook een methode is om verontreiniging in een proceskamer te verminderen. De methode bestaat uit het aftasten van een straal van elektromagnetische energie over een oppervlakte van één of meerdere componenten van de proceskamer om een meerderheid te vormen die van eigenschappen daarop, de één of meerdere kamercomponenten plaatst in een proceskamer, en een procesopeenvolging in werking stelt binnen de proceskamer.
