This application discloses a microelectromechanical (MEMS) switch apparatus
comprising an anchor attached to a substrate and an electrically
conductive beam attached to the anchor and in electrical contact
therewith. The beam comprises a tapered portion having a proximal end and
a distal end, the proximal end being attached to the anchor, an actuation
portion attached to the distal end of the tapered portion, a tip attached
to the actuation portion, the tip having a contact dimple thereon. The
switch apparatus also includes an actuation electrode attached to the
substrate and positioned between the actuation portion and the substrate.
Additional embodiments are also described and claimed.
Diese Anwendung gibt einen microelectromechanical Apparat des Schalters (MEMS) frei, der einen Anker enthält, der zu einem Substrat angebracht werden und einen elektrisch leitenden Lichtstrahl, das damit zum Anker und im elektrischen Kontakt angebracht wird. Der Lichtstrahl enthält einen sich verjüngenden Teil, der ein proximales Ende und ein distales Ende, das proximale Ende hat, das zum Anker, ein Betätigung Teil angebracht wird, der zum distalen Ende des sich verjüngenden Teils, eine Spitze angebracht wird, die darauf zum Betätigung Teil, die angebracht wird Spitze, die ein Kontaktgrübchen hat. Der Schalterapparat schließt auch eine Betätigung Elektrode mit ein, die zum Substrat angebracht wird und zwischen den Betätigung Teil und das Substrat in Position gebracht ist. Zusätzliche Verkörperungen werden auch beschrieben und behauptet.
