Methods for roll-to-roll deposition of optically transparent and high
conductivity metallic thin films are disclosed. In general, a method
according to the present invention comprises: (1) providing a flexible
plastic substrate; (2) depositing a multi-layered conductive metallic film
on the flexible plastic substrate by a thin-film deposition technique to
form a composite film; and (3) collecting the composite film in continuous
rolls. Typically, the thin conductive metallic film is an InCeO--Ag--InCeO
film. Typically, the thin-film deposition technique is DC magnetron
sputtering. Another aspect of the invention is a composite film produced
by a method according to the present invention. Still another aspect of
the invention is a composite film comprising InCeO--Ag--InCeO film formed
on a flexible plastic substrate, wherein the composite film has a
combination of properties including: transmittance of at least 90%
throughout the visible region; an electrical resistance of no greater than
about 10 .OMEGA./square; a root-mean-square roughness of no greater than
about 2.5 nm; and an interlayer adhesion between the InCeO/Ag/InCeO
metallic film and the remainder of the composite film that is sufficiently
great to survive a 180.degree. peel adhesion test.
Los métodos para rodar-a-ruedan la deposición ópticamente de transparente y se divulgan las películas finas metálicas de la alta conductividad. En general, un método según la actual invención abarca: (1) abastecimiento de un substrato plástico flexible; (2) depositar una película metálica conductora de varias capas en el substrato plástico flexible por una técnica thin-film de la deposición para formar una película compuesta; y (3) recogiendo la película compuesta en rodillos continuos. Típicamente, la película metálica conductora fina es un InCeO -- AG -- película de InCeO. Típicamente, la técnica thin-film de la deposición es farfulla del magnetrón de la C.C.. Otro aspecto de la invención es una película compuesta producida por un método según la actual invención. Otro aspecto de la invención sigue siendo una película compuesta que abarca InCeO -- AG -- película de InCeO formada en un substrato plástico flexible, en donde la película compuesta tiene una combinación de características incluyendo: transmittance de por lo menos el 90% a través de la región visible; una resistencia eléctrica no mayor que del OMEGA./square cerca de 10; una aspereza del rai'z-significar-cuadrado de no mayor que cerca de 2.5 nm; y una adherencia de la capa intermediaria entre la película metálica de InCeO/Ag/InCeO y el resto de la película compuesta que es suficientemente grande sobrevivir una prueba de adherencia de la cáscara 180.degree..
