Disclosed is a MEMS (Micro Electro Mechanical System) variable optical
attenuator. The MEMS variable optical attenuator comprises a substrate
having a flat upper surface; an electrostatic attenuator disposed on the
upper surface of the substrate; transmitting and receiving terminals
disposed on the substrate so that optical axes of the terminals coincide
with each other; and a beam shutter moved to a designated position between
the transmitting and receiving terminals by the actuator, wherein the beam
shutter is provided with a first coating layer made of a material with a
reflectivity of more than 90% and formed on a surface of the beam shutter,
and a second coating layer made of a material with a reflectivity of less
than 80% so that a part of light is transmitted by the second coating
layer and with a photodisintegration rate of the transmitted light
determined by a thickness of the second coating layer.
È rilevato un attenuatore ottico variabile di MEMS (sistema meccanico della micro elettrotipia). L'attenuatore ottico variabile di MEMS contiene un substrato che ha una superficie superiore piana; un attenuatore elettrostatico si è disposto di sulla superficie superiore del substrato; i terminali riceventi trasmettenti e si sono disposti di sul substrato in modo che le ascie ottiche dei terminali coincidessero con a vicenda; e un otturatore del fascio si è mosso verso una posizione indicata fra trasmettere ed i terminali riceventi dall'azionatore, in cui l'otturatore del fascio è fornito di un primo strato ricoprente fatto di un materiale con una riflettività più di di 90% e formato su una superficie dell'otturatore del fascio e un secondo strato ricoprente ha fatto di un materiale con una riflettività più meno di di 80% in modo che una parte di luce fosse trasmessa dal secondo strato ricoprente e con un tasso di fotodisintegrazione della luce trasmessa determinata da uno spessore del secondo strato ricoprente.
