A thin film analysis system includes multi-technique analysis capability.
Grazing incidence x-ray reflectometry (GXR) can be combined with x-ray
fluorescence (XRF) using wavelength-dispersive x-ray spectrometry (WDX)
detectors to obtain accurate thickness measurements with GXR and
high-resolution composition measurements with XRF using WDX detectors. A
single x-ray beam can simultaneously provide the reflected x-rays for GXR
and excite the thin film to generate characteristic x-rays for XRF. XRF
can be combined with electron microprobe analysis (EMP), enabling XRF for
thicker films while allowing the use of the faster EMP for thinner films.
The same x-ray detector(s) can be used for both XRF and EMP to minimize
component count. EMP can be combined with GXR to obtain rapid composition
analysis and accurate thickness measurements, with the two techniques
performed simultaneously to maximize throughput.
Система анализа тонкой пленки вклюает возможность анализа мулти-metoda. Пасти рефлектометрию рентгеновского снимка падения (GXR) можно совместить при флуоресцирование рентгеновского снимка (XRF) используя длин волны-dispersivnye детекторы спектрометрирования рентгеновского снимка (WDX) для того чтобы получить точные измерения толщины с GXR и high-resolution измерения состава с XRF использующ детекторы WDX. Одиночный луч рентгеновского снимка может одновременно обеспечить отраженные рентгеновские снимки для GXR и возбудить тонкую пленку для того чтобы произвести характерные рентгеновские снимки для XRF. XRF можно совместить с анализом микрозонда электрона (EMP), включающ XRF для плотных пленок пока позволяющ пользу более быстрого EMP для более тонких пленок. Такое же detector(s) рентгеновского снимка можно использовать как для XRF так и для EMP для того чтобы уменьшить компонентный отсчет. EMP можно совместить с GXR для того чтобы получить быстро анализ состава и точные измерения толщины, при 2 метода выполненного одновременно для того чтобы увеличить throughput.
