The invention relates to a miniature electrostatic actuation device (100)
capable of generating movements along a determined direction (F),
comprising pairs of electrodes (4) of which the mobile electrodes (8) may
be pulled into contact with a fixed electrode (6) on a variable pull-in
surface that varies as a function of the voltage applied between these
pairs of electrodes. According to the invention, the device also comprises
an actuation element (12) connected to the mobile electrodes (8), the
element (12) being capable of occupying a rest position and of being
guided along the determined direction (F) when the voltage applied between
the electrodes in each pair (4) varies, the device comprising return arms
(14) capable of pulling the actuation element (12) back towards its rest
position, when the voltage applied between the two electrodes in each pair
of electrodes is reduced.
To be applied to actuation of continuously deformable micro-mirrors.
De uitvinding heeft op een miniatuur elektrostatisch aandrijvingsapparaat (100) betrekking geschikt om bewegingen langs een bepaalde richting (F) te produceren, bestaand uit paren elektroden (4) waarvan de mobiele elektroden (8) in contact met een vaste elektrode (6) op een variabele trekkracht-in oppervlakte kunnen worden getrokken die als functie van het voltage variëert dat tussen deze paren elektroden wordt toegepast. Volgens de uitvinding, bestaat het apparaat ook uit een aandrijvingselement (12) dat met mobiele elektroden (8) wordt verbonden, element (12) die een rust positie en kan bezetten van wordt geleid langs de bepaalde richting (F) wanneer het voltage dat tussen de elektroden in elk paar (4) wordt toegepast variëert, het apparaat bestaand terugkeer uit wapens (14) geschikt om de rug van het aandrijvingselement (12) naar zijn rust positie te trekken, wanneer het voltage dat tussen de twee elektroden in elk paar elektroden wordt toegepast wordt verminderd. Om op aandrijving van onophoudelijk vervormbare micro-spiegels zijn van toepassing geweest.
