Miniature electrostatic actuation device and installation comprising such devices

   
   

The invention relates to a miniature electrostatic actuation device (100) capable of generating movements along a determined direction (F), comprising pairs of electrodes (4) of which the mobile electrodes (8) may be pulled into contact with a fixed electrode (6) on a variable pull-in surface that varies as a function of the voltage applied between these pairs of electrodes. According to the invention, the device also comprises an actuation element (12) connected to the mobile electrodes (8), the element (12) being capable of occupying a rest position and of being guided along the determined direction (F) when the voltage applied between the electrodes in each pair (4) varies, the device comprising return arms (14) capable of pulling the actuation element (12) back towards its rest position, when the voltage applied between the two electrodes in each pair of electrodes is reduced. To be applied to actuation of continuously deformable micro-mirrors.

De uitvinding heeft op een miniatuur elektrostatisch aandrijvingsapparaat (100) betrekking geschikt om bewegingen langs een bepaalde richting (F) te produceren, bestaand uit paren elektroden (4) waarvan de mobiele elektroden (8) in contact met een vaste elektrode (6) op een variabele trekkracht-in oppervlakte kunnen worden getrokken die als functie van het voltage variƫert dat tussen deze paren elektroden wordt toegepast. Volgens de uitvinding, bestaat het apparaat ook uit een aandrijvingselement (12) dat met mobiele elektroden (8) wordt verbonden, element (12) die een rust positie en kan bezetten van wordt geleid langs de bepaalde richting (F) wanneer het voltage dat tussen de elektroden in elk paar (4) wordt toegepast variƫert, het apparaat bestaand terugkeer uit wapens (14) geschikt om de rug van het aandrijvingselement (12) naar zijn rust positie te trekken, wanneer het voltage dat tussen de twee elektroden in elk paar elektroden wordt toegepast wordt verminderd. Om op aandrijving van onophoudelijk vervormbare micro-spiegels zijn van toepassing geweest.

 
Web www.patentalert.com

< System and method for robust and efficient resizing of simple polygons

< Cantilever having step-up structure and method for manufacturing the same

> Radio frequency microelectromechanical systems (MEMS) devices on low-temperature co-fired ceramic (LTCC) substrates

> Organic electrochromic materials for optical attenuation in the near infrared region

~ 00143