Laser beam positioners (300, 340) employ a steering mirror (236, 306) that
performs small-angle deflection of a laser beam (270) to compensate for
cross-axis (110) settling errors of a positioner stage (302). A two-axis
mirror is preferred because either axis of the positioner stages may be
used for performing work. In one embodiment, the steering mirror is used
for error correction only without necessarily requiring coordination with
the positioner stage position commands. A fast steering mirror employing a
flexure mechanism and piezoelectric actuators to tip and tilt the mirror
is preferred in semiconductor link processing ("SLP") applications. This
invention compensates for cross-axis settling time, resulting in increased
SLP system throughput and accuracy while simplifying complexity of the
positioner stages because the steering mirror corrections relax the
positioner stage servo driving requirements.
Les positionneurs de rayon laser (300, 340) utilisent un miroir de direction (236, 306) qui effectue le débattement sous petit angle d'un rayon laser (270) pour compenser 110) erreurs d'arrangement d'croix-axe (d'une étape de positionneur (302). Un miroir biaxial est préféré parce que l'un ou l'autre axe des étapes de positionneur peut être employé pour effectuer le travail. Dans une incorporation, le miroir de direction est utilisé pour la correction d'erreurs seulement sans exiger nécessairement la coordination avec les commandes de position d'étape de positionneur. Un miroir rapide de direction utilisant un mécanisme et des déclencheurs piézoélectriques de flexure pour incliner et incliner le miroir est préféré dans des applications de traitement de lien de semi-conducteur ("SLP"). Cette invention compense le temps de stabilisation d'croix-axe, ayant pour résultat la sortie et l'exactitude de système accrues de SLP tout en simplifiant la complexité des étapes de positionneur parce que les corrections de miroir de direction détendent le servo d'étape de positionneur conduisant des conditions.
