A method and system are presented for measuring in an electrically
conductive film of a specific sample including data indicative of a free
space response of an RF sensing coil unit to AC voltage applied to the RF
sensing coil. The sensing coil is located proximate to the sample at a
distance h substantially not exceeding 0.2 r wherein r is the coil radius;
an AC voltage in a range from 100 MHz to a few GHz is applied to the
sensing coil to cause generation of an eddy current passage through the
conductive film; a response of the sensing coil to an effect of the
electric current through the conductive film onto a magnetic field of the
coil is detected and the measured data indicative of the response is
generated. The thickness of the film is determined by utilizing the data
indicative of the free space measurements to analyze the measured date.
The method thus provides for measuring in conductive films with a sheet
resistance Rs in a range from about 0.009 to about 2 Ohm/m.sup.2.
Um método e um sistema são apresentados medindo em uma película eletricamente condutora de uma amostra específica including os dados indicativos de uma resposta livre do espaço de um RF que deteta a unidade da bobina à tensão AC Aplicada ao RF que deteta a bobina. A bobina detetando é proximate encontrado à amostra em uma distância h substancialmente que não excede 0.2 r wherein r é o raio da bobina; uma tensão AC Em uma escala de 100 megahertz a algum gigahertz é aplicada à bobina detetando à geração da causa de uma passagem da corrente de eddy através da película condutora; uma resposta da bobina detetando a um efeito da corrente elétrica através da película condutora em um campo magnético da bobina é detectada e os dados medidos indicativos da resposta são gerados. A espessura da película é determinada utilizando os dados indicativos das medidas livres do espaço para analisar a data medida. O método fornece assim medindo em películas condutoras com uma resistência de folha Rs em uma escala de aproximadamente 0.009 a aproximadamente 2 Ohm/m.sup.2.
