Interdigitated capacitor structure for an integrated circuit

   
   

A capacitor has at least two layers of substantially parallel interdigitated strips. The strips of each layer are alternately connected to a first and a second bus. The first and second buses of each layer are interconnected to first and second buses of an adjacent layer. The strips of each layer are approximately perpendicular to strips of an adjacent layer. The capacitor further includes dielectric material between strips of the same and different layers. A method of fabricating the capacitor includes forming at least two layers of substantially parallel interdigitated strips which are alternately connected to first and second buses of each layer. The buses of each layer are connected to the respective buses of an adjacent layer. The strips of one layer are approximately perpendicular to the strips of an adjacent layer. Dielectric material is formed between strips of the same and different layers.

Un condensateur a au moins deux couches essentiellement de parallèle interdigitated des bandes. Les bandes de chaque couche sont alternativement reliées à un premier et deuxième autobus. Les premiers et deuxièmes autobus de chaque couche sont reliés ensemble à d'abord et les deuxièmes autobus d'une couche adjacente. Les bandes de chaque couche sont approximativement perpendiculaires aux bandes d'une couche adjacente. Le condensateur autre inclut le matériel diélectrique entre les bandes de la même chose et les différentes couches. Une méthode de fabriquer le condensateur inclut former au moins deux couches essentiellement de parallèle interdigitated les bandes qui sont alternativement reliées à d'abord et les deuxièmes autobus de chaque couche. Les autobus de chaque couche sont reliés aux autobus respectifs d'une couche adjacente. Les bandes d'une une couche sont approximativement perpendiculaires aux bandes d'une couche adjacente. Le matériel diélectrique est formé entre les bandes de la même chose et les différentes couches.

 
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