A tunable optical filter including at least one deformable membrane
actuator. The actuator may include an array of a thousand or millions of
individual actuator cells for strength and mechanical robustness. The
deformable membrane actuator including a first primary substrate having a
first optical portion, an electrically conductive and deformable membrane,
an electrically conductive primary substrate electrode and a membrane
support structure. The substrate electrode and the membrane support
structure are disposed on or adjacent to the first primary substrate, the
deformable membrane being supported by the membrane support structure, and
a second substrate having a second optical portion. The second substrate
is supported by a load support structure disposed on one surface of the
deformable membrane and is located a distance from the first substrate.
When a voltage is applied between the deformable membrane and the
electrically conductive layer, the deformable membrane deforms and alters
the distance between the first optical portion and the second optical
portion.
Ein tunable optischer Filter einschließlich mindestens einen deformable Membrane Auslöser. Der Auslöser kann eine Reihe von tausend oder Millionen der einzelnen Auslöserzellen für Stärke und mechanische Robustheit einschließen. Der deformable Membrane Auslöser einschließlich ein erstes Primärsubstrat, das einen ersten optischen Teil, eine elektrisch leitende hat und deformable Membrane, eine elektrisch leitende Primärsubstratelektrode und eine Membrane stützen Struktur. Die Substratelektrode und die Membrane Unterstützungsstruktur werden auf oder neben dem ersten Primärsubstrat, die deformable Membrane abgeschaffen, die durch die Membrane Unterstützungsstruktur gestützt werden, und ein zweites Substrat, das einen zweiten optischen Teil hat. Das zweite Substrat wird durch eine Last Unterstützungsstruktur gestützt, die auf einer Oberfläche der deformable Membrane abgeschaffen wird und wird ein Abstand vom ersten Substrat lokalisiert. Wenn eine Spannung zwischen der deformable Membrane und der elektrisch leitenden Schicht angewendet wird, verformt die deformable Membrane und ändert den Abstand zwischen dem ersten optischen Teil und dem zweiten optischen Teil.
